한국 기업, 반도체 EUV 공정 주요 원료 상용화 첫 성공, 일본 반응

한국 중소기업인 재원산업이 EUV공정의 핵심 원재료 중 하나인 프로필렌글리콜메틸 아세트산(PGMEA) 상용화에 성공했다고 합니다.

아래는 기사 본문과 일본 반응입니다.

 

 

 

< 기사 본문 >

한국 기업, 반도체 EUV 공정의 주요 원료 상용화에 첫 성공

 

반도체 EUV(극자외선) 공정에 사용되는 핵심 원료가 한국에서 처음으로 상용화 되었다.

반도체의 공정 원재료의 분야에서 일본이나 중국의 의존도를 낮출 수 있을 것으로 기대된다.

 

20일, 반도체 업계에 따르면 국내 중소기업인 재원산업은 EUV공정의 핵심 원재료 중 하나인 프로필렌글리콜메틸 아세트산(PGMEA) 상용화에 성공했다. 재원산업은, 전라남도 여수시 낙포동에 있는 자사 공장에서 PGMEA를 양산하며, 작년 말부터 삼성전자나 SK하이닉스 등 1차 협력 회사에 납품을 시작했다. 국내에서 실험실 연구로 PGMEA 개발에 성공한 사례는 있었지만, 양산에 돌입한 것은 이번이 처음이라고 회사측이 강조했다.

 

PGMEA는 반도체용 시너(thinner)로 제조되어, EUV 노광 공정에서 극자외선 감광 반응이 일어나지 않는 부분에 묻어있는 감광물질(포토레지스트)을 씻어내는 역할을 한다. 노광 공정에 들어가기 전에 웨이퍼에 바르면, 감광 물질을 보다 적게 사용해도 골고루 펴지도록 도와준다. 

 

EUV 공정으로 제조하는 반도체는, 회로가 극도로 미세해서 매우 작은 불순물이라도 묻어있으면, 제품 생산율이 떨어진다. 이 때문에 여기에 들어가는 PGMEA도 상당히 높은 순도가 요구된다.  EUV 공정용 PGMEA는「5N」으로 불리는 99.999% 이상의 초고순도로 제조된다. 이전 세대인 불화아르곤 공정에는 99.99%의 PGMEA가 필요했다.

 

한국에는 지금까지 PGMEA의 순도를 높이는 정제 기술이 있었지만, 전 단계인 PGME(프로필렌글리콜모노메틸에테르)를PGMEA에 합성하는 기술은 없었다. 이로인해 일본에서 최고순도 PGMEA를 구입하거나, 중국에서 순도가 떨어지는 PGMEA를 구입한 후, 정제를 거쳐 반도체 공정에 투입해 왔다.

 

재원산업이 소재의 국산화에 뛰어든 계기는 2008년 베이징 올림픽이다. 당시 중국이 올림픽 기간에 공정 가동시간을 규제하자, 생산량이 격감했고, PGMEA나 EEP(에틸 3 에폭시 프로피오네트) 등, 반도체의 원재료 가격이 올랐다. 중국에서 원재료를 구입해서 가공했던 한국의 유명한 제조회사들은, 손실을 피할 수 없었다. 재원산업이 공급망의 안정을 위해, 2009년에 개시한 EEP합성기술개발 프로젝트가 2012년에 성공했다. 이 노하우를 활용하여 18년, PGMEA 합성기술까지 개발했다. 회사측은 「EEP국산화에 따라, 연간 400억 원(약 38억 엔), PGMEA 국산화에 따라, 연간 1000억 원(약 96억 엔) 정도의 수입 대체 효과를 기대할 수 있다」고 밝혔다.

 

재원산업은 올해 들어서, 창업자의 장남 심재원 단독 대표 체제로 재정비하고, 해외 사업의 확대에 힘을 쏟고 있다. 납입처를 다각화하여, 주요 거래처인 SK하이닉스와 삼성SDI 등의 해외 사업소 주변에 공장을 건설할 계획이다. 미국 조지아주에서는 2차 전지 소재 공장 건설이 확정되어, 부지를 물색하고 있다.

 

 

 

 

< 일본 야후 반응 댓글 >

 

 

toy***** | 152/6

타국에 의존하지 말고, 모든 것을 국산화로 만드는 데에 힘써 주세요. 

이제 어느 나라도 상대해 주지 않을 테니까 서두르는 편이 좋아요.

 

 

yas***** | 114/9

「반도체의 공정 원재료의 분야에서 일본이나 중국의 의존도를 낮출 수 있을 것으로 기대된다.」

이런 말, 몇 번 들은 적이 있어.

이제까지 `국내 생산에 성공' 이라고 말하면서 

(막상) 사용해 보면 결함률이 높아져

Apple은 남쪽의 액정 제조를 포기했다.

그 결과 일본에 의뢰 혹은 일본에서 원재료를 수입하는 것으로 바꿨다.

40％ 가까운 결함률로는 소용없어.

이번 것도 같은 결과가 나올 거라고 생각해.

 

 

kel***** | 94/3

뭐？고순도라고는 해도 PGMEA를 지금까지 못만들었습니까...

까놓고 말해서 그냥 유기용제예요.

뭔가 다른 기사나 한국 뉴스 사이트에서는 마치 포토레지스트를 

국산화 할 수 있었다는 식의 기사가 있네요.

PGMEA와 포토레지스트는 천지차이입니다.

개발 개시도 이 기사에서는 2008년으로 되어있지만 다른 기사에서는 2019년의 수출 관리의 엄격화 직후부터라고 쓰여있어서 엉터리예요.

그렇지만 뭐 일본도 안주하고 있어서는 안 됩니다. 한층 더 깊은, 제조 기술의 연구를 계속해 주길 바랍니다.

 

 

kum***** | 252/19

상용화에 성공한 건 좋지만, 

문제는 그 제품을 한국의 기업이 구입하느냐 안 하느냐라고 생각하는데?

안정된 가격에 고품질이라고 알려진 일본제와 

생긴지 얼마 안 돼서 가격도 안정되지 않고,

품질도 모르는 한국제와 둘 중 어느 것을 구입할까?

 

 

답글→bzz***** | 13/3

삼성전자, 10년이나 노력해서 양산화에 성공했다고 합니다. 

그러니 가격이나 품질에는 눈을 감아주고, 

국내산업의 육성을 위해서 사용해 주세요. 

완성된 ＩＣ가 어떻게 될 지는 모르겠지만요.

 

 

tsd***** | 26/0

레지스트의 원재료라고 해도 그냥 용제잖아.

중요한 기능성을 가진 핵심 원재가 아니야~.

비프 스튜의 재료를 가지고 있어요! 라고 말해놓고

물을 가져오는 것과 동급이야.

합성해서 증류하면 될 뿐이라서 

그렇게 혁신적인 기술 진보는 아닌 듯하다(이미 몇 십년 전부터 다른 나라에서 만들었던 것)...

 

 

gre***** | 322/9

상용화, 성공! 국산화, 성공! 의존률 저하! 라고 자주 선전하고 계시지만,

「실은 해외에서 일본제를 우회 수입했습니다.」라든지

「국산화는 할 수 없었습니다.」라든지 

「일본과 합병 기업이었습니다.」라는 것들뿐이야.

 

 

답글→nap***** | 27/2

일본 제품의 라벨 위에 한국 라벨을 손으로 덧붙인다는 

획기적인 아이디어를 발명했을 지도 몰라!?

 

 

mih***** | 8/1

항상 같은 소리를 하지만 

시장에서 인정받은 상품은 뭐야?

 

 

よろしく | 11/1

수출 엄격화 후에도 일본 의존도는 증가하고 있대 괜찮은 거야?

 

 

mot***** | 50/1

성공했다 성공했다 고 말하지만

품질은 괜찮을까요?

이후의 속보를 부탁드려요.

 

 

khh***** | 108/3

서론은 알았으니

결과도 기사로 제대로 써라.

 

 

mas***** | 100/8

지금 시대는 가격이지(가격이 중요하지). 

일본은 불행인지 다행인지 엔화 약세이니까,

한국 쪽이 가격이 더 비쌀 거 같다. 

 

 

戯言 | 24/2

뭐냐, 하면 할 수 있잖아.

질에는 문제가 있겠지만 당분간은 들키지 않겠지.

이제 일본에게 트집 잡으면 안 돼.

 

 

oza***** | 76/2

수입에 의존했던 물건을 국내에서 양산할 수 있으니, 고용에 공헌해 주세요.

 

 

現人神(あらひとがみ) | 17/2

어차피.

제조사 연구실에서 시제품 제조에 성공했다는 정도이지 않을까요. 

몇 십년 후에 시중에 나돌아다고 있다면 좋을 텐데요!?

모르겠네요.

 

 

shi***** | 39/3

소재는 그렇게 간단한 게 아닙니다.

고도한 품질의 물건을 안정적으로 계속 생산하기 위해서는 

상당한 관리 기술이 필요합니다.

다른 곳에서 부품을 사와서 조립하는 것과는

난이도가 완전 다릅니다.

해냈다~해냈다~라고 말하게 된 직후에,

엄청난 수의 불량품이 만들어질 것을 각오해야 합니다. 

그렇게 만만한 게 아니에요. 아저씨!

 

 

yum***** | 111/4

첫 국산화 축하드립니다.

하지만 그 기술의 대부분이 일본 기업의 특허에 

해당하는데 괜찮습니까?

미국에서 삼성은 3800 건 남짓의 소송을 받았고 승소한 건 한 자릿수예요. 

팔아서 수익을 올리고, 그대로 배상금을 

지불하는 방식은 흉내내지 말아 주세요.

그리고 국산화 성공에 노래 부르고, 

우회 경로에서 일본제를 써서도 안 됩니다.

 

 

rcg***** | 99/1

잠깐 

이전에, 플루오린화 수소에서

문제를 일으켰을 거야.

게다가 플루오린화 수소 양산 성공!!

이라며 뉴스에 나왔는데

수입한 일본제의 순도를 올리는 방법이였다고 했어

침착하게 냉정하게 본 후에 

확인하지 않으면 이 나라는 

진짜 답없어.

 

 

iai***** | ９/2

항상 「국산화에 성공！」「일본에게 의존하지 않고...」

「품질은 일본보다 위...」라고 발표하며 국민을 기쁘게 해주지만, 

일본에서 수입은 전혀 줄지 않습니다...... 차기 대통령은 단호히 수입을 금지하고 국산품을 사용하도록 엄령을 내려주세요. 

불량품밖에 생산하지 못한다면 「전부 일본이 나쁘다」라며 도망치면 그만이니까요. 홀가분한 일이에요. 

 

 

tos***** | 36/1

이런 뉴스는 질릴 정도로 봤어.

다행이지 않아요?

탈일본으로 한 발짝 더 나아가서.

개인적으로 다음 대통령은

『이재명』씨가 되면 좋겠어.

일한 단교에 크게 기여해줄 거 같아서.

힘내라~『이재명！！』

 

 

shm***** | 7/7

이거 굉장하네

한국 기업이어서 일본 기업보다 훨씬 

국제 경쟁력이 높아

단숨에 일본의 점유율을 빼앗을 가능성이 있어.

일본은 정말 뭐든지 한국에게 패배해 버리네.

 

 

suz***** | 56/4

이런 식의 얘기는 진절머리 났어요.

입 다물고 일본에서의 수입을 줄여주세요.

지금이야말로「NoJapan」을 향해 나아갈 때입니다. 

그런 일로 타격을 받을 만큼 일본 기업은 약하지 않습니다. 

한국없이도 나아갈 거라고 생각합니다.  

 

 

yuz***** | 96/1

상품화가 가능해지고, 

대량 출하에 성공해서 일본에 의지하지 않게 되다니 잘됐네요.

다만, 불화수소와 똑같이 제품화를 해봤더니 

대량의 불량품, 결함이 발견됐다는 결론을 맞이하게 되는 건 아니죠?

 

 

답글→nap***** | 8/0

수입한 일본제의 원료에 물을 더하고 묽게 만들어서 

한국의 독자 브랜드로서 발표했을 지도 몰라!?

 

 

nobu harada | 7/1

한국은 이런 기사가 많구나!

하지만 구체적으로 언제, 어디에, 어떤 가격으로

어느 정도 양 등의 판매 결과에 대해서는 

보도 하지 않지! 

과거에는 일본의 기술을 따라잡았다는 기사를 내보냈는데 

결과적으로 주가 조작을 위해서 그랬다는 우스운 얘기가 있었지. ^^ 

 

 

jtgdtw***** | 28/2

잘됐네요. 기운찬 얘기뿐이니, 경하드립니다.

그런데, 3월은 경제 위기라는 얘기는 뭐죠?

 

 

a88***** | 13/2

매번 있는 일이지만, 사기와 비슷하네요.

결함・제품 불만에 주의해 주세요.

 

 

bbi***** | 18/2

20일에 반도체 기업이 상용화에 성공했다.

어라라...1개월 전에도 같은 기사가 있었는데, 

한국은 어이없는 나라구나？

 

 

gfa***** | 16/1

잘됐네.

감상은 그게 다야.

 

 

uay***** | 22/1

첫 성공이다. 자국 생산이다. 

몇 번을 들은 거지? 라고 말할 뿐이야.

단지 그거뿐이야.

 

 

wwr***** | 28/1

수출 금지를 해도 이제 괜찮겠네.

 

 

ken***** | 21/1

하나 하나 보고할 필요없어 ^^

 

 

emi***** | 64/2

축하드립니다.

진실이길 바라고 있어요.

 

 

jtp | 12/1

잘됐네～양산이 가능하다면 말이야.

 

 

etp***** | 31/1

이솝우화입니까?

 

 

ran***** | 24/1

잘됐네요.

이제 이쪽에 신경 꺼주세요.

 

 

tom***** | 7/1

또 개발 성공한 거니? 엄청나네. 잘됐다.

 

 

zac***** | 1/0

뭔지 모르겠지만 축하해요.

 

 

bob | 1/0

꿈을 기사로 쓰지마라.

벌써 몇 번째 거짓말이냐？

 

 

sir***** | 1/0

몇 번째 성공이냐ㅋ

 

 

ste***** | 18/1

또 과대표현이다. 여전히 숨을 쉬 듯 거짓말을 하네. 

번역기자:soyanari 
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